Am Fraunhofer IISB wurden Halbleiterfertigungsgeräte mit hohem Energie- bzw. Ressourcenverbrauch hinsichtlich eines energieeffizienten Betriebs untersucht.
Zunächst wurden Konzepte zum energieeffizienten Betrieb einer Labor-Epitaxieanlage des Fraunhofer IISB untersucht. Nach Anschaffung einer Epitaxie-Anlage im Industriemaßstab wurden die erstellten Konzepte inklusive umfangreichem Energiemonitoring umgesetzt. So wurde zur Optimierung des Energieverbrauchs das Kühlsystem hydraulisch entkoppelt. Die Abluftversorgung wurde unter Zuhilfenahme von lokalen Lüftern realisiert, was energetisch günstiger ist als die Erhöhung des zentralen Abluftstroms. Ein neuer zentraler Wasserstoff-Reiniger auf Basis einer Palladium-Zellen-Technologie ermöglicht die Bereitstellung der benötigten Wasserstoffmenge und erlaubt außerdem eine Absenkung der Wasserstoff-Qualität im Gastank des IISB. Dies erweitert die Möglichkeiten der Wasserstoff-Rückspeisung, die im Themenfeld Gas-Strom-Kopplung untersucht wird.
Die Untersuchung von thermischen Öfen für Diffusions- und Oxidationsprozesse hat weitere Möglichkeiten zur Energieeinsparung aufgezeigt. Dabei bieten sowohl eine geänderte Prozessführung als auch Veränderungen im Standby-Verhalten Einsparpotentiale. So ermöglichen bereits einfache Veränderungen der Arbeitsabläufe große Energieeinsparungen, wie beispielsweise das zeitnahe Entladen der ausgefahrenen Paddel nach Prozessende. Durch das Erhöhen der Raten der Aufheiz- und Abkühlphasen sind deutliche Einsparungen sowohl an verbrauchter Energie als auch benötigter Zeit möglich. Mit optimierten Parametern ergibt sich eine maximale Einsparung von 25 % bei der Gesamtprozessdauer und 22,5 % bei der aufgewendeten Prozessenergie.